HPTJH—1000型熱鍵合設備

用于某些同質或者異質的材料晶片之間的熱鍵合、直接鍵合?？蛇m用于硅、半導體材料、化合物半導體材料、硅化物材料、玻璃等能夠實現鍵合加工的“光電子”及“MEMS”等工藝領域。